EUV-Lithografie - definição. O que é EUV-Lithografie. Significado, conceito
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O que (quem) é EUV-Lithografie - definição


EUV-Lithografie         
EUV-Lithografie (auch kurz EUVL) ist ein Fotolithografie-Verfahren, das elektromagnetische Strahlung mit einer Wellenlänge von 13,5 nm (91,82 eV) nutzt, sogenannte extrem ultraviolette Strahlung (, EUV).